静电控制
静电对产品有很大的危害,但静电无法消除,只能通过有效的控制,避免产品受到损害。综合起来说,静电控制需要关注环境、人员、材料、流程制度。
1.EPA控制方法 :
1)区域明确定义和标识。
2)对区域内的所有导体包括人员可靠接地(泄放法)。
3)消除一切不必要的静电产生源(无关物品禁入EPA)。
4)运用12英寸(30cm)原则(感应起电,远离静电源)。
5)中和法(离子风机)。
6)环境控制(温湿度)。
7)屏蔽法(防静电包装袋—转运存储)。
2. 防静电工作台:
1)防静电台垫的尺寸应不小于工作台面的大小。必须正面(即防静电面、耗散层)朝上、背面(即导电层)朝下铺设;一般黑色表面为导电层,其它颜色(灰色或绿色)为静电耗散层。
2)多个防静电工作台的接地线不能相互串接,应以并联方式与公共接地线连接,每块台垫(地垫)必须且只需接一根防静电地线。
3. 人员要求:
1)所有人员进入防静电区域必须穿好防静电工作服、防静电工作鞋或鞋套,戴好工作帽,禁止半袖、不系扣。长发者头发放入帽中。
2)工作服外部严禁携带金属物件,防静电鞋内不得垫鞋垫。
3)更换工作服应在指定地点进行,不允许在设备旁边穿、脱工作服。
4. 人员规范:
1) 进入EPA区域前,测试腕带和人体电阻,测试通过并做好记录方可进入。
2)接触ESSD及组件之前应戴好防静电腕带,腕带不可戴在袖子或手套上,防静电腕带插入香焦插孔中接地,要保证腕带与皮肤接触良好。
3)确认工作区域内的工具、设备和仪器安全、可靠接地。
4)确认工作区内的静电源(例如:非防静电塑料袋、非防静电泡膜、橡胶等)远离静电敏感器件(至少30CM)。
5)维护现场检查点。包括设备、仪器的接地,防静电操作台,防静电工具,腕带、手套、工衣、工鞋,防静电包装材料。
5. 防静电存储、转运:
1)环境:温度16~28℃;相对湿度(RH) 40%~60% 。
2)存储器具:防静电器件盒、防静电袋、防静电周转箱、周转车等。
3)静电敏感器件尽量保持原包装状态,严禁随意拆封。
4)用于静电敏感器件散装清点和发料的工作台必须铺设防静电台垫,并可靠接地。将有绳防静电腕带接入防静电接地系统。
5)静电敏感器件在储运过程中,勿靠近强静电、强电磁场