(ESD)静电防护技术专题培训
一、培训内容
静电损伤的技术机理
(A)基本概念
1、认识电子元器件的门类
2、静电对电子产品、环境、人体等的危害
3、静电危害的特点
4、企业做好静电防护的意义
5、当前国内企业的静电防护工作中主要问题
6、静电防护涉及的主要相关工作方面归纳
(B)静电及静电损伤的基础知识
1、基本概念(静电、静电位、静电放电、静电放电的特点)
2、静电的产生方式(摩擦起电、剥离起电、感应静电等)
3、静电的来源(人体带电、仪器设备带电、器件本身带电、其它来源)
4、静电的消散
5、静电放电的主要模型(HBM、MM、CDM等,以及元器件的静电敏感度)
(C)静电损伤失效模式与失效机理
1、ESD失效模式特征(突发性失效、潜在性失效,以及失效模式的特征)
2、ESD失效机理(过电压场致失效、过电流热致失效,各敏感元器件类型所对应的失效模式、失效机理的归纳,物料分类对现场静电防护的意义)
3、ESD损伤的失效分析技术(分析的原则、分析的技术流程、主要的分析技术方法:I-V测试、光学显微观察、扫描电镜观察、光发射显微分析、芯片去层剥离等)
(D)ESD和EOS的判别方法讲解
四 完整的静电损伤分析案例解析
1、电压比较器失效(电分析、模拟比较、电路分析)
2、汽车钥匙芯片失效(器件的电分析、芯片微观分析、OBRICH定位、参数分析与模拟、加工过程静电危害度排查、电路分析、历史数据统计分析,综合分析及结论)
3、微波功分器失效
4、发光二极管案例
5、MOS管失效案例
电子制造的静电防护工程应用
(A)静电防护工程的实施依据(标准介绍)
1、相关的标准化组织(国内标准化组织、国际标准化组织、ANSI/ESDA)
2、静电防护体系标准(国内静电防护标准、国际静电防护标准、ESDA标准)
3、ANSI/ ESD S20.20标准介绍(新版变化的主要方面、标准的内容介绍)
4、如何持续实施ESD标准(团队、标准、培训、组织评估调查、计划及实施、资源、核查、改进;实施防护的关键因素;文件体系;体系审核)
(B)静电防护的基本工作方法
1、如何建立完善的ESD管理体系
*建立管理体系及控制方案计划 *建立静电防护的管理组织
*确定静电敏感器件及现场静电防护的等级 *制定人员培训计划及案例
*明确基础设施保障要求
2、ESD防护技术原则
*全面性防护与适当防护相结合 *物料覆盖的全面性 *过程覆盖的全面性
*控制静电的产生 *控制静电的消散 * “等电位”为中心 *三种常用的基本技术
(C)静电防护工程的具体技术要求
1、静电防护硬件条件及手段
*等电位、接地的工程方法 *电荷中和、阻值控制 *静电场屏蔽、湿度控制
*材料选择和工艺控制 *敏感器件的标注
2、静电防护关键技术性要求
*接地基础系统(接地桩、接地主干线、防静电地板)
*防静电工作区EPA(典型的EPA设置、EPA作用及基本要求、EPA静电泄放回路)
*防静电材料、工具及要求(防静电地板、台面、座椅、设备、人体防护装备、包装与周转用具、静电消除设备,及其它器具)
*静电防护器具典型的正确与错误使用方法比较 *绝缘材料的使用及处理
*人员ESD要求
(D)静电防护工程持续改善方法
1、开展失效分析技术
2、器件敏感度测试技术
3、整机的防静电能力测试
4、现场静电防护系统的周期性测试
5、静电防护体系的周期性审查与培训
产品认可及符合性验证技术(产品认可计划、符合性验证计划的介绍)
(A)常用的静电检测仪表
1、非接触式静电电位计
2、接地电阻测量
3、兆欧表(高阻表)
4、万用表
5、腕带检测仪
6、人体综合电阻测试仪
7、连接监测仪
8、离子平衡分析仪
9、静电屏蔽测试仪
(B)静电检测分类和检测项目
1、按时间分:经常性、定期性和临时性
2、按测试精度分:定量和定性
3、按场所分:现场测试和试验室测试。
(C)常用的静电检测方法介绍
1、参考标准、检测条件、检测对象
2、摩擦起电电压测试
3、防静电地极接地电阻测试
4、接地干线及支线系统测量
5、防静电地板测量
6、工作台面的材料及现场系统电阻测试
7、座椅电阻测试
8、转运车电阻测试
9、工作鞋体电阻测试
10、工位器具表面和体电阻测试
11、工作服电阻测试
12、手套和手持工具表面点对点电阻测试
13、电烙铁测试
14、腕带测试
15、鞋套/带电阻测试
16、静电消除器(离子风扇)符合性验证
17、防静电包装材料的分类及测试